Unibody MEMS 晶圓偵測專利清單：

• 美國專利 6,265,888：晶圓探針卡。作者：Hsu, Howard
• 美國專利 20,030,141,889：垂直探針卡及其使用方法。作者：Chen, HH 和 Hsu, H.
• 美國專利 20,030,222,668：用於生產微探針尖端的方法。作者：Hung.WC 和 Hsu, H.
• 美國專利 (IP)：一體式MEMS探針卡，具有尖端形狀，可實現超高引腳數。作者： HSU FU CHANG 和 HOWARD FU-JYA HSU.
  

所有製程參數的相互關係：化學品、溫度、等離子體、雙面製程… ETC